1、务必保证薄膜测厚仪工作台及周围作业区域干净整洁。灰尘对测量结果的影 响将是巨大的。
2、将仪器清零静置后，会发现数值会从 0.0 慢慢变小为-0.1 -0.2…. 此为电感系统的零位漂移，属正常。只要开机一段时间如 30 分钟后，就会稳定。测量前，只需清零测试即可。
3、进入薄膜测厚仪工作台的气压要保证在 0.12-0.22MPa 之间，过高的压力(超过0.3Mpa)不但会影响传感器寿命，同时还会造成测量结果不准确；过低的压力则会造成测头不提起或者提升高度不满足正常测试,同样会造成测量结果不准确。
4、测量过程中如发现数值突大的情况，请复测一次，多数情况为测帽粘灰尘所致。可以纸条清理测帽即可。
5、测量过程中如发现数值波动很大的情况(每次测量的值差异很大)，多数情况为测帽松了所致。可以用手旋紧测帽即可
