关于薄膜行业测厚对标的问题，严格意义来讲不是测厚设备本身精确度的问题。我们在这一方面综合多个权威测量厂家的测厚设备包括德国马尔、日本三丰、基恩士等等多家型号进行测厚对比，在测头测力、接触面积大小基本一致的状态下测厚数据相差小于0.2um,所以综合以上，对标数据是否一致，是多方面因素综合的结果。
一、影响测量结果大致有以下几点：
1、被测物质在测试过程中的变形多少：变形越小越接近真实值
2、被测物质与测量台面的贴合度：不影响形变的基础上贴合度越紧密越接近真实值。
二、影响被测物质形变的因素：
1、测头与被测物质的接触面尺寸
2、测力的大小
3、传感器下落的速度带来附加的冲击力
三、影响被测物质与测量台面的贴合度因素：
1、测头与被测物质的接触面尺寸
2、测力的大小
四、如何降低测试过程中膜的形变和提高被测物与测量台面的贴合度
1、使用足够大到能把被测物质压到贴合测量面的测头。
2、匹配适合的测力
3、控制传感器下落的速度。
