一、测头测力的大小：
1.三丰常用测厚仪测力普遍在0.01N-0.25N之间
2.马尔测厚仪常用测力在0.25-0.75N之间可调0.25N/0.5N/0.75N
二、测头直径大小（决定了测头与薄膜接触面积）
1.三丰常用的自动的测头直径及形状： ø0.45mm 针型测针 (硬质合金)、ø7.0mm 球型测针 (硬质合金)、ø10.5mm 球型测针 (硬质合金)、其他。
2.马尔测厚仪常用测头直径及形状： ø5mm 平面型测针 (不锈钢)、 ø8mm 平面型测针 (不锈钢)
Ø10mm 平面型测针 (不锈钢)、 ø11.3mm 平面型测针 (硬质合金)、 ø12mm 平面型测针 (硬质合金)
测量薄膜时，因为薄膜是软质材料受力不同会导致压缩变形量不一致，由于各品牌测厚仪的工作原理不同，会有不同测力大小以及不同测头接触面积，所以会导致测量结果有差异，置于多少测力才能测出真正的厚度，需要匹配测力与测头接触面积的关系来选择。
平测头：通常来说，测头与测量基准台面的平行度在绝对平行（小于1um）的情况下，测力在0.1——1N之间，测头直径ø5——ø12mm之间的差异是不明显的，但是测头平行度在3um以上，测量结果差异就很明显，不论是测力还是测头直径任何一个发生变化，对数据的影响都是巨大的。
圆弧测头：测头接触面积小，对测力大小很敏感。需要匹配测力测试调整。
调整以上的参数的匹配性，就可以解决对标不一致的问题。
