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对标膜厚度数据要注意什么?

发布时间:2024-02-29 10:52人气:65

在日常的薄膜厚度测试过程中,我们会经常遇到一种情况就是对标不了。比如说,与标准片对标,测量数据差异大;又比如说使用多个设备,与其他设备测量差异大;为什么会出现这种情况呢?

广州德准机电设备有限公司通过不断地研究,发现有以下因素会影响对标:

  1.测帽或者大理石面粘细微异物,用酒精粘无尘布放入测头底下来回擦拭干净。

  2.气压问题,压是不是0.2-0.25兆帕之间,很多时候气压过大,导致皮圈位移无法正常工作。另外一点就是没有用独立的调节阀,多台设备共用一个调节阀,所以气压偏大。

  3.检查皮圈位置是否在正常位,主要通过钢圈是否刚好压住皮圈、皮圈开模线是否成一条竖直线、底部与测头是否贴合这三点排查。

  4.压缩行程

  5.设置比例因子。很多时候仪器设置了比例因子,因此在与标准块对标时候,需要将比例因子调回1.0.

  6.用标准块校准。设备空测数据跳动大,而且多个标准块测量的值是不稳定的,比如,用多个标准块测量时候,比如500/1000/1200μm是测量的数值分别是502.5/1002.5/1202.5时候,多出的数值都是差不多多出2.5μm的时候是不需要校准,相反的,如果测出来的数据比如像502.5/1005.6/1208.7μm的这样差异大的数据时,就需要通过标准块校准。

  7.如果测帽是平面测帽的话,还要考虑到测头与大理石之间的平行度。

  8.如果测帽是大圆弧测帽的话,可以通过减缓测头下落的速度,改变测帽对测膜的压力变形,从而达到减少变形影响测量数据的效果。

因此对标不了,不一定是设备的本身的问题,我们需要通过对以上因素的排查,得出影响对标的最终因素,找出问题点解决问题后,我们的数据测量就是准确的。

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